Reinraum-Monitoring
ISO 14644-1 – Partikel, Temperatur & Differenzdruck
99.8%
Compliance
21.3°C
Temperatur Ø
44%
Feuchte Ø
+15 Pa
Differenzdruck
Reinraumzonen
| Zone | Klasse | Partikel (≥0,5µm) | Limit | Temperatur | Feuchte | ΔP | Status |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Zone A – CI-Assemblierung | ISO 7 | 2.840 | 352.000 | 21.3°C | 44% | +15 Pa | OK |
| Zone B – Elektroden-Fertigung | ISO 7 | 3.120 | 352.000 | 21.1°C | 43% | +14 Pa | OK |
| Zone C – Verpackung | ISO 8 | 18.400 | 3.520.000 | 21.5°C | 45% | +12 Pa | OK |
| Zone D – Schleuse | ISO 8 | 24.100 | 3.520.000 | 22.0°C | 46% | +10 Pa | Warnung |